【求是芯星】御微半导体技术有限公司总经理王帆博士

而我们这里所谈的量检测是指面向集成电路前道的量测、检测，属于狭义层面的量检测应用。

面向集成电路的前道量检测技术手段主要分为三类：光学检测、电子束方法检测，X-ray检测。

(资料图)

在集成电路前道检测手段中，光学检测技术能够覆盖大部分的晶圆前道工艺中的检测应用场景。

光学检测手段主要基于光学成像、光谱测量、光学散射等原理来进行量检测。御微团队主要集中于光学成像技术背景的设备开发。

求是缘：量检测设备在芯片生产制造工艺流程中所扮演的怎样的角色？

王帆：量检测设备在芯片生产制造工艺中扮演非常关键的角色，既是芯片工艺质量的技术保障前提，也是良率提升的有效手段之一。复杂的集成电路制造多达几十层，每一层又包含十多道工艺流程，如薄膜沉积、光刻、刻蚀等。

量检测设备就像是集成电路生产制造中的“眼睛”，来实时监测工艺制造流程的结果，并同步反馈至工艺过程，进行问题排查和工艺参数调整。这样就实现了工艺+量检测的正向闭环，帮助Fab工艺的精度控制和良率提升。

我们半导体人追随的摩尔定律其实也是在追求经济性和先进性的完美平衡。越是先进节点工艺，越是更要精确地把控工艺的精度。

求是缘：全球半导体领域的量检测设备领域的市场格局及未来发展趋势？

王帆：以我个人的视角来看，半导体领域量检测设备会沿着两个方向发展：

方向一，纵向发展。量检测设备会继续遵循摩尔定律向前演进，但演进的节奏有放缓趋势。

整个集成电路行业继续沿着摩尔定律前行不辍，对应线宽工艺越来越微缩。量检测设备亦是如此，也必须沿着摩尔定律迭代发展。作为“眼睛”，量检测设备不但需要能看见更微小线宽的线条，还要更清楚地看到线条生产过程中造成的微小瑕疵。摩尔定律的演进倒逼量检测设备不断迭代，才能够不断满足更高精度的量检测要求。

方向二，横向扩展。新的产品和应用、新的工艺也会带来大量的量检测设备采购需求，比如第三代材料、存储芯片的立体堆叠等。

以目前的量检测设备格局来看，全球半导体前道量检测设备领域，主要的设备厂商依然是以美国和欧洲为主，自主化率低，特别是部分中高精度的复杂设备品类，国产设备的产线应用甚至为空白。

我对设备产业的未来格局持乐观态度：国家政策面、金融市场资金面、科研人才面、市场客户面等，持续有一系列的利好内容惠及我们半导体设备产业。作为产业人，我真切地感受到近5-6年来设备行业的积极变化，我也相信未来几年依然是国内半导体设备人最好的产业机遇期。

求是缘：你能否为我们剖析，哪些因素是制约我国中高端光学量检测设备发展的主要原因？

王帆：我认为人才是制约我国中高端光学量检测设备发展的主要原因。人才培养需要完整的长周期，无法一蹴而就，特别是高精密光学量检测设备的“大师级”专家人才更需要长时间的科研打磨和产业沉淀。

这方面，海外科技行业的“Fellow体系”值得借鉴，根据所处机构的不同，Fellow们所研究的方向也各有差异。基于前沿研究的Fellow就职于高校及科研机构，而基于应用层面研究的Fellow则多聚集于企业。

作为国内半导体前道光学量检测领域创业团队，御微也希望能为产业培养出能媲美国际一流的光学量检测领域“大师级”人才。

求是缘：作为国内最具潜力的光学量检测创业团队，御微的特色和优势体现在哪些方面？

王帆：御微的核心团队完整地覆盖了量检测设备技术开发、市场销售等各个方向。我们的技术团队背景涵盖芯片设备各领域，包括设备系统设计、集成电路制造工艺、精密光学、精密机电、软件、算法等。我们坚持国内外开发人才引进和内部培养体系并行，确保我们团队的技术视野、设备开发和产业落地始终处于前沿。我们不仅要能走得更快，还要能走得更远。

我们一直坚持开放、合作、专注、高效的企业文化。御微自身聚焦成像光学领域，聚焦集成电路光学量检测系统设计与系统集成，但光学量检测设备属于高精密设备系统，包含众多复杂的子系统及零部件，需要联合产业上下游生态力量一起协作攻关，逐个突破，保障设备系统稳健运行。我们依托国内各重点实验室开展联合基础技术攻关，高效地整合学术界和产业界的资源。

求是缘：御微目前的产品覆盖哪些应用场景？未来御微的产品战略还会做怎样的延伸布局？

王帆：御微面向集成电路制造、先进封装、化合物半导体、新型显示等领域，为客户提供具有竞争力的产品及技术解决方案。我们聚焦于集成电路光学量检测系统设计与系统集成，围绕集成电路装备自主化，已经形成了掩模版检测、晶圆检测、泛半导体检测、晶圆测量等4大领域6大类量检测产品。

其中硅片检测类、硅片测量类设备已经应用到诸多Fab工艺流程，参与工艺质量良率的控制。

我们会持续深耕检测，持续推出掩模版图形检测、Blank和光罩的量检测设备，不断为产业客户创造价值。

王帆：创业公司在创业过程中遇到的困难很多但机会同样也很多。

对于专攻前道量检测设备的御微团队而言，我们遇到的最大困难还是来自尖端技术上的挑战。但我们开发团队始终团结在一起，共同攻克技术节点和工艺流程中的难关。

我印象最深刻的考验是在2022年，2022年是我们关键设备——套刻测量设备的研发攻关期。

我们开发团队面临的考验不仅仅是产品技术层面的挑战，还要去应对上半年疫情封控的问题。上海研发团队自力更生、克服重重困难，坚守在办公室、实验室攻关开发设备，成功在2022年实现套刻测量设备交付。

创业团队在创业过程中难免会遇到各种困难和挑战，但无论是哪种挑战，我们团队始终能团结一致，坚守一线、从不退缩。技术团队坚守在设备技术开发的前线、市场销售团队奔赴在服务市场客户的一线，戮力同心，共渡难关。唯有此，团队才能逾越创业过程中的艰难险阻。

求是缘：在过去20多年，您一直来专注于微电子装备系统设计与集成、精密光机电系统技术研究方向，在科研学术方面取得很多成果，后来又参与创立御微并且发展迅捷。您在科研+创业两个方向上一路走来，最大的心得是什么？您认为科研学术与创业二者之间有何不同？

王帆：我原来主要职业更是偏技术和产品开发方向，但在御微，我的角色负责内容更丰富些，主要负责公司整体的业务。

做技术需要持续地专注，就像“打怪升级”，努力攻克一个难关之后还要持续更努力去攻克下一个难关。

做产品则更像做投资，开发一款产品需要考虑技术、市场、供应链、人力资源等各方面条件保障，需要协调资源集中投入。除了关注产品研发之外，我还会关注公司内外部短板的“补链”。我们团队每一位伙伴的工作目标最终都是以“为客户创造价值”为中心。

在御微内部我们推崇一种职业文化：我们所从事的工作，无论是技术、管理、客户服务、销售，只是分工不同，真正的评价标准是——我们是否为客户提供有价值的产品和服务。我们在内部推行人才专家制和任职资格评估，为公司内的各类工种开设人才发展上升通道。

2006年，我从中国科学院上海光学精密机械研究所光学博士毕业后，可选择的职业方向很多，但最终选择加入企业做设备开发，是希望能以自己所学为产业创造价值，这同样也是驱使我的初心所在。

科研强调创新性和先进性，提出新的理论、新的技术应用。

我很享受做技术科研过程，当看到自己科研成果得到全球学术界认可时，内心的那种自豪感和成就感无法用言语来形容。

从技术工程转向企业管理，新增的专业知识也很多，比如财务、金融知识、供应链管理、人力资源、运营、战略等等。管理更强调知行合一的重要性，边学习边实践，在实干中继续精进提升。

我也很喜欢现在做管理工作，当我们组织团队资源攻关开发的设备成功发运，设备顺利应用于产线并帮客户解决工艺生产中的难题，对产业做出一点贡献，同样也非常有成就感。

求是缘：御微是求是缘半导体联盟创业会员单位，您如何看待联盟与会员单位之间的关系？您认为联盟应该在哪些方面继续做提升，以更好地服务创业中的会员单位？

王帆：联盟与会员单位之间的关系，我们更像是生态圈中的一分子，与联盟互相扶持、共同成长。我们特别感谢联盟给予机会让我们参与到联盟举办的学术、产业界的交流活动中来。

求是缘半导体联盟不同于产业中的其它组织，主要是由志愿者力量在支撑运转的非营利组织，建议联盟吸纳更多人员来参与到工作运转，更好地服务产业发展。

半导体行业的健康发展需要产业紧密合作，联盟作为生态中的一个纽带平台，建议多组织会员单位之间的互动交流，促进会员企业之间的信息互通和产业互补合作。

此外，我也希望联盟能充分发挥浙大人才资源优势，多为企业输送产业人才。与此同时，建议联盟利用产业人才专家资源，按照细分主题多举办有深度的产业座谈会，让产业人能在联盟的平台上针对共同的产业话题做更深层次的探讨交流。

正如王帆博士所言，过去几年及未来数年是半导体设备人难能可贵的产业机遇期，各地产业政策陆续落地，上下游生态力量合力攻关，半导体设备人迎来了产业发展的春天。

御风而行，微动世界。期待御微创业团队能借助产业春风，继续攻克难关并打造更先进的量检测设备，洞察更精妙绝伦的集成电路微观世界，为全球及我国集成电路制造创造价值。

（合影照片）

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